Aluminiumoxidprodukte für hochtemperatur- und korrosionsbeständige Bauteile

Aluminiumoxidprodukte für hochtemperatur- und korrosionsbeständige Bauteile

Unsere hochpräzisen Aluminium-Keramikkomponenten verwenden ultra-reines Al2O3-Material (≥95% Reinheit), das speziell für Präzisionsinstrumentationsanwendungen entwickelt wurde.mit einer Oberflächenbeschichtung auf Nanometerebene (Ra≤0.05 μm) und einer Größengenauigkeit auf Mikronebene (± 0,005 mm) erfüllen diese Komponenten die anspruchsvollsten Anforderungen an Halbleitergeräte, optische Instrumente und Medizinprodukte.

Hauptanwendungen

• Herstellung von Halbleitern: Wafer-Handling-Arme, Vakuumkammer-Liner, Plasma-Düsen

• Optische Instrumente: Laserspiegelhalter, Spektrometer-Schlitzbaugruppen, Referenzplattformen für Interferometer

• Medizinische Analyseausrüstung: Massenspektrometer-Ionenquellen, chromatographische Keramiksäulen, PCR-Wärmezyklusmodule

• Wissenschaftliche Forschung: UHV-Flanzen, kryogene Versuchsplattformen, Synchrotronstrahlungsoptik

• Industrielle Messtechnik: CMM-Sondenspitzen, Referenzblöcke für Oberflächenprofilometer, Rundheitstester-Turntables

Besondere Merkmale

- Ich weiß.Ultrapräzise Bearbeitung: Profilgenauigkeit ≤ 0,1 μm, Winkeltoleranz ± 5 Bogensekunden
- Ich weiß.Außergewöhnliche Stabilität: CTE 7,2±0,1×10−6/°C (20-100°C)
- Ich weiß.Ultra-saubere Oberfläche: Gehalt an Metallionen < 1 ppm
- Ich weiß.Funktionale Anpassung: Integrierte leitfähige/isolierende/antistatische Zonen
- Ich weiß.Umweltschutzresistenz: Strahlentoleranz > 106Gy, Abgasrate < 10-11 Pa·m3/s

Technische Spezifikation

Präzisionsherstellungsverfahren

1. Ultrafeine Pulverververarbeitung: 50nm Aluminiumoxidpulver-Granulation mit Spray

2. Isostatisches Drücken: Isostatisches Kaltpressen von 200 MPa

3. Sinterung der Atmosphäre: Sinterung in Wasserstoffatmosphäre bei 1700°C

4. Ultrapräzise Bearbeitung: 5-Achsen-Langleiter-EDM + Diamantschleifen

5. Verarbeitung in Reinräumen: Klasse 100 Ultraschallreinigung

6. Vollständige Kontrolle: Weißlichtinterferometrie + CMM vollständige Dimensionsüberprüfung

Nutzung und Wartung

▷ Verwenden Sie während der Installation spezielle Reinraumwerkzeuge und ESD-Handschuhe
▷ Empfohlene Betriebstemperatur: -60°C bis 450°C
▷ Vermeiden Sie starke ätzende Medien (HF, heiße Phosphorsäure usw.)
▷ Plasma-Reinigung empfohlen alle 500 Betriebsstunden
▷ Aufbewahrungsbedingungen: 22±1°C, 45±5% Feuchtigkeit

Dienstverpflichtung
✔ Kostenlose technische Beratung
✔ 72-Stunden-Beschleunigungsservice
✔ 10-jährige Nachverfolgbarkeit der Produktleistung
✔ Verpackung für die Reinräume + Versandmöglichkeiten für Stickstoffreinigung

Technische FAQ

F: Können Sie die ISO-10110-Optikoberflächenstandards erfüllen?
A: mit einer optischen Flachheit von λ/20@632,8 nm

F: Bieten Sie leitfähige Keramiklösungen an?
A: Anpassbarer Oberflächenwiderstand 104-1010Ω

F: Höchstmaß der Einzelstücke?
A: Stromkapazität 300×300×50 mm (größere Baugruppen sind erhältlich)

F: Wie wird die Leistung von UHV garantiert?
A: Durch ein spezielles Sinterverfahren entsteht weniger Abgas als bei den meisten Metallen